VC/TiC超晶格薄膜的微结构及超硬效应

• 作者: 岳建岭 李戈扬 李淼磊 王恩青 董学超
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 关键词: 超晶格薄膜 碳化物薄膜 微结构演变 超硬效应 外延生长
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 页码范围: 2581-2586
• 页数: 6页
• 字数: 527字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(15)63878-X

摘要

采用磁控溅射工艺制备VC/TiC超晶格薄膜，并采用EDXA、XRD、HRTEM和纳米力学探针研究调制周期对超晶格薄膜的微结构和力学性能的影响。研究结果表明，当超晶格薄膜的调制周期低于临界厚度时，制备的VC/TiC超晶格薄膜能够形成共格生长结构，并获得硬度显著提高的超硬效应。然而，随着调制周期的进一步增大，超晶格薄膜的共格结构遭到破坏，导致薄膜的硬度逐渐降低，并最终趋于其组元的混合平均值。XRD结果表明，当形成共格生长结构时，超晶格薄膜内部将产生共格协调应变，从而改变不同调制层的弹性模量，这也是VC/TiC超晶格薄膜能够获得超硬效应的重要原因。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
2	岳建岭	中南大学航空航天学院	13	43	4.0	5.0
6	王恩青	中南大学航空航天学院	5	49	2.0	5.0
7	李淼磊	中南大学航空航天学院	8	18	3.0	3.0
8	董学超	中南大学航空航天学院	2	6	1.0	2.0