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摘要:
为了提升碳纳米管(CNT)阴极电离规的综合性能和实用性,本文利用离子光学模拟软件SIMION3D 8.0和CAD建模软件构建了CNT阴极电离规的物理模型,且通过模拟计算得到不同电极结构参数对CNT阴极电离规各种性能的影响规律.研究结果表明,不同的阴极基座直径、门极尺寸产生不同的电子运动轨迹;电子运动路径随着外屏与阳极栅网之间距离的增大先增大后减小;电子逃逸率随着门极和阳极顶部间距的减小而逐渐增大;聚焦孔直径对正离子的收集影响显著,且气相离子/电子激励脱附离子收集比率在收集孔直径约为2mm时达到最大.故选用合适的电极结构参数能有效地提高CNT阴极电离规的总体性能,延伸其真空测量下限.
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文献信息
篇名 碳纳米管阴极电离规结构的模拟优化设计
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 物理学
关键词 真空测量 电离规 碳纳米管阴极 电极结构 数值模拟
年,卷(期) 2015,(2) 所属期刊栏目 真空技术与理论
研究方向 页码范围 156-160
页数 分类号 O462.4
字数 语种 中文
DOI 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.02.06
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 常天海 华南理工大学电子与信息学院 67 317 10.0 14.0
2 李得天 兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室 55 149 6.0 9.0
3 张虎忠 兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室 9 16 2.0 3.0
4 邢正 华南理工大学电子与信息学院 1 1 1.0 1.0
传播情况
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真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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