MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究

• 作者: 杨江涛 邬琦 马喜宏
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS微加速度计 失效模式 可靠性 ANSYS仿真
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 396-401
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 字数: 3642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2015.02.034

摘要

由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题，而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速度计在振动环境下的可靠性问题。设计了微加速度计在振动环境下的可靠性试验并通过ANSYS进行仿真。经过分析得出微加速度计在振动环境下的主要失效模式，并进行了相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证，对微加速度计在振动环境下的可靠性进行评估，并描绘了其可靠度与失效概率曲线。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨江涛	中北大学电子测试技术国家重点实验室	27	121	6.0	10.0
5	邬琦	中北大学计算机与控制工程学院	15	103	6.0	10.0
6	马喜宏	中北大学电子测试技术国家重点实验室	25	93	5.0	9.0