MEMS热式微流量传感器发展综述

• 作者: 张元 李辉
• 来源期刊: 中国西部科技
• 关键词: 微流量传感器 MEMS 热温差 灵敏度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 开发应用
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6396.2015.01.006

摘要

MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点，在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构，随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性，最后展望了其今后的发展趋势和应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李辉	安徽师范大学物理与电子信息学院	30	123	6.0	9.0
2	张元		1	13	1.0	1.0