射频功率及工作气压对微型ICP激发源光谱强度的影响

• 作者: 杨帅 王永清 王硕南 韩芳芳
• 来源期刊: 分析试验室
• 学科: 工学
• 关键词: 微型 ICP激发源 射频功率 气压
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器装置与实验技术
• 页码范围: 989-992
• 页数: 4页
• 分类号: TH744
• 语种: 中文
• DOI: 10.13595/j.cnki.issn1000-0720.2015.0215

摘要

利用自制的一种新型基于PCB镀金技术的微型ICP激发源(频率为13.56 MHz)成功激发空气与甲烷等离子体,分析不同工作气压和射频功率对样品气体的激发效果的影响.数据表明,射频功率处于5 ～25 W范围内甲烷谱线强度呈增强趋势,10～25 W范围时空气谱线强度呈增强趋势.样品气体流量改变导致压强变化时光谱信号强度是先增强后减弱,转折点为40 Pa.40 Pa之前时谱线信号强度随压强增大呈上升趋势,但是压强轻微的变化导致信号图斜率的变化非常明显,不适于定量分析.40 ～60 Pa谱线信号强度斜率的变化率较小,适于分析.样品气体定量时,加大载气流量改变压强谱线强度信号的变化无明显规律.由此得出该等激发源激发空气与甲烷等离子体稳定的工作条件:射频功率10 ～25 W,工作气压40 ～60 Pa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永清		19	82	5.0	8.0
2	杨帅		8	7	1.0	2.0
3	王硕南		10	16	3.0	3.0
4	韩芳芳		1	0	0.0	0.0