一种降低平面子孔径拼接累积误差的方法

• 作者: 卢云君 吴飞斌 唐锋 李杰 李永 王向朝 郭福东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 子孔径拼接干涉测量 误差累积 离焦 绝对检验
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 229-236
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0708006

摘要

干涉仪参考镜面形离焦误差难以精确标定,是导致拼接累积效应、制约平面子孔径拼接系统检测精度的主要因素.推导了参考镜离焦与拼接累积误差、拼接次数间的定量表达式,基于该表达式在拼接过程中标定并去除参考镜离焦误差,降低拼接累积误差.对450 mm×60 mm的平面镜进行了8个子孔径的拼接检测,与大口径干涉仪检测结果比对,去除参考面离焦误差前后拼接测量误差峰谷(PV)值从A/10减小至λ/30,有效提高了拼接测量精度.结合绝对检验技术标定参考镜高阶面形误差,验证了离焦是引起拼接误差累积的主要因素,消除参考镜高阶面形误差并不能显著提高拼接检测精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	125	1027	17.0	27.0
2	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
3	李永	中国科学院上海光学精密机械研究所	9	56	4.0	7.0
4	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
5	卢云君	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	51	3.0	7.0
6	郭福东	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	4	1.0	2.0
7	吴飞斌	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	3	1.0	1.0