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摘要:
干涉仪参考镜面形离焦误差难以精确标定,是导致拼接累积效应、制约平面子孔径拼接系统检测精度的主要因素.推导了参考镜离焦与拼接累积误差、拼接次数间的定量表达式,基于该表达式在拼接过程中标定并去除参考镜离焦误差,降低拼接累积误差.对450 mm×60 mm的平面镜进行了8个子孔径的拼接检测,与大口径干涉仪检测结果比对,去除参考面离焦误差前后拼接测量误差峰谷(PV)值从A/10减小至λ/30,有效提高了拼接测量精度.结合绝对检验技术标定参考镜高阶面形误差,验证了离焦是引起拼接误差累积的主要因素,消除参考镜高阶面形误差并不能显著提高拼接检测精度.
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文献信息
篇名 一种降低平面子孔径拼接累积误差的方法
来源期刊 中国激光 学科 物理学
关键词 测量 子孔径拼接干涉测量 误差累积 离焦 绝对检验
年,卷(期) 2015,(7) 所属期刊栏目 测量与计量
研究方向 页码范围 229-236
页数 8页 分类号 O436.1
字数 语种 中文
DOI 10.3788/CJL201542.0708006
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李杰 中国科学院上海光学精密机械研究所 125 1027 17.0 27.0
2 王向朝 中国科学院上海光学精密机械研究所 170 1628 23.0 35.0
3 李永 中国科学院上海光学精密机械研究所 9 56 4.0 7.0
4 唐锋 中国科学院上海光学精密机械研究所 19 47 4.0 6.0
5 卢云君 中国科学院上海光学精密机械研究所 11 51 3.0 7.0
6 郭福东 中国科学院上海光学精密机械研究所 6 4 1.0 2.0
7 吴飞斌 中国科学院上海光学精密机械研究所 7 3 1.0 1.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
测量
子孔径拼接干涉测量
误差累积
离焦
绝对检验
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国激光
月刊
0258-7025
31-1339/TN
大16开
上海市嘉定区清河路390号 上海800-211邮政信箱
4-201
1974
chi
出版文献量(篇)
9993
总下载数(次)
26
总被引数(次)
105193
相关基金
上海市自然科学基金
英文译名:
官方网址:http://www.lawyee.net/Act/Act_Display.asp?RID=46696
项目类型:面上项目
学科类型:
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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