双壳层靶丸金属层电沉积装置设计

• 作者: 卢春林 唐道润 尹强 张云望 张林
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 化学
• 关键词: 双壳层靶 电沉积 装置设计
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 制靶与材料
• 页码范围: 239-243
• 页数: 5页
• 分类号: O646.541
• 字数: 3615字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.032031

摘要

设计了一种新型双壳层靶丸金属层电沉积装置,借助计算机模拟了其设计原理,分析了微球的运动及镀层的生长模式,介绍了其各部分结构和功能.借助理论计算,确定了镀槽的整体尺寸,其中槽体半径确定为5 cm.镀槽的特殊结构使微球上部镀层沉积速度较快,结合小球的自转及围绕圆柱体的公转运动实现镀层均匀沉积.镀液及微球的运动模式使镀液流速合并了主盐浓度、小球平动速度、小球转动速度三个关键参数,简化了对沉积过程的控制.在新旧装置上进行了电沉积实验,制备出了镀层厚度分别为9 μm和2 μm的空心金微球,结果表明:使用设计的装置可制备表面质量良好、厚度均匀且可控的金属微球,镀层厚度由沉积时间、金属层密度、镀液比重、微球芯轴的等效密度等决定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	233	1406	18.0	25.0
2	尹强	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	24	93	5.0	8.0
3	张云望	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	9	24	3.0	4.0
4	卢春林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	0	0.0	0.0
5	唐道润	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	8	10	2.0	3.0