微电子工艺可靠性的影响因素及提升措施研究

• 作者: 杨亚非
• 来源期刊: 电子测试
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子 可靠性 影响因素 提升措施
• 年，卷（期）: 2015,（20）
• 所属期刊栏目: 测试工具与解决方案
• 页码范围: 70-71
• 页数: 2页
• 分类号: TP36
• 字数: 2215字
• 语种: 中文

摘要

可靠性是关系产品质量的重要部分.在IC生产环节,微电子工艺的可靠性起着决定性的作用.本文在对微电子工艺可靠性进行简要阐述基础上,指出了研究微电子工艺可靠性必须注意的三个基本出发点,并从原材料控制、设备与工艺控制、环境洁净度控制等方面探讨了提升微电子工艺可靠性的具体措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨亚非		2	14	2.0	2.0