浅谈微电子器件的可靠性

• 作者: 李晓松
• 来源期刊: 现代信息科技
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子器件 可靠性 热载流子 静电放电
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 电子工程
• 页码范围: 54-55
• 页数: 2页
• 分类号: TN601
• 字数: 2600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2096-4706.2018.10.020

摘要

随着微电子技术的发展,微电子产品凭借体积小、功能全、智能化等特点越来越受到市场的欢迎,与此同时微电子的可靠性也随之被大家关心和重视,本文则对微电子器件的可靠性进行了研究,得出微电子的可靠性受热载流子、金属化、静电放电、栅氧化层等因素的影响,并针对这些原因,本文提出了相应的解决措施,旨在提高微电子器件的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晓松		1	3	1.0	1.0