晶体硅太阳电池沉积三层氮化硅薄膜的探索

• 作者: 李健 韩菲
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 氮化硅薄膜 晶体硅太阳电池 间断性沉积
• 年，卷（期）: 2015,（15）
• 所属期刊栏目: 科技前沿
• 页码范围: 64-65
• 页数: 2页
• 字数: 2139字
• 语种: 中文

摘要

为改善晶体硅太阳电池表面存在的问题,利用等离子增强化学气相沉积法在晶体硅上沉积的三层氮化硅薄膜,对晶体硅太阳能电池起到很好的减反射效果,明显改善了电池对入射光的吸收.将三层薄膜的连续沉积改为间断性沉积,可以使氮化硅薄膜的致密性大大提高,并极大的改善了原本工艺中出现的电池表面色差较严重的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学理工学院	36	200	7.0	12.0
2	韩菲	燕京理工学院机电工程学院	3	2	1.0	1.0