基于D MD的全息光刻系统设计

• 作者: 付伟平 李静
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 全息光刻 DMD MATLAB
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 页码范围: 22-23
• 页数: 2页
• 分类号: TN26
• 字数: 1068字
• 语种: 中文

摘要

设计搭建了一套基于DMD(Digital Micro-mirror Derice)的全息光刻系统，它包括光路和软件部分。在软件设计中，采用MATLAB 语言编制基于博奇编码的计算全息图，以二维灰度光栅为例，对其进行了计算全息的设计和模拟再现，并通过实验再现了二维灰度光栅图案，验证了设计的合理性和可靠性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李静	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	238	2528	23.0	40.0
2	付伟平	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	2	1	1.0	1.0