化学气相沉积工艺对碳化硅纤维毡热解碳涂层的影响

• 作者: 季涛 居文斌 聂磊清 胡燕 许然
• 来源期刊: 南通大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅纤维毡 热解碳 化学气相沉积 聚碳硅烷不熔化纤维
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 纺织工程
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TB332|TS101.92+1
• 字数: 2447字
• 语种: 中文

摘要

以丙烷(C3H8)为碳源气体、碳化硅纤维(SiCf)毡为沉积基体,通过化学气相沉积工艺(CVD)在SiCf毡中沉积热解碳(PyC),分析了不同沉积温度、氮气与丙烷的气压比(PN2/PC3 H8)和沉积时间对PyC沉积形貌和沉积厚度的影响.结果表明:沉积温度低于800℃时,PyC的沉积难以进行;系统总压为10 kPa、PN2:PC3 H8=2:1、沉积温度为900℃的条件下可以获得均匀致密的PyC层;P N2/P C3 H8、沉积温度的改变都可以使PyC层的形貌产生变化;对于厚度为5 mm的碳化硅纤维毡,沉积时间为6 h较为合适.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡燕	南通大学纺织服装学院	7	29	3.0	5.0
2	季涛	南通大学纺织服装学院	62	253	10.0	13.0
3	许然		1	1	1.0	1.0
4	聂磊清	南通大学纺织服装学院	1	1	1.0	1.0
5	居文斌	南通大学纺织服装学院	1	1	1.0	1.0