真空系统内一种加热器温度场分布有限元分析

• 作者: 冯刘 吴玲玲 牛森 石峰 程宏昌 苗壮 陈靖
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温度场 均匀性 有限元 仿真
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 723-726
• 分类号: TN104
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.06.20

摘要

为了提高真空系统内一种加热器的温度场分布均匀性,利用有限元分析方法,借助ANSYS Workbench仿真温度场,通过对单圈钨丝结构外加圆倒角釜结构上的改进,确定了获取均匀的温度场的方法.在电阻丝加热功率为45 w,对直径50.8 mm的蓝宝石晶元加热温度均达到200℃的情况下,分别对两种加热器进行了仿真分析.结果表明:单圈钨丝结构外加圆倒角釜的加热器对晶元加热的温度场均匀性较差,温度差异为41.13℃.多圈钨丝螺旋结构外加抛物面釜对晶元加热的温度场均匀性较好,温度差异仅为2.30℃,可作为真空系统内一种理想的高均匀性加热器结构.对GaN阴极均匀性的检测表明:通过改进加热器结构,使得制作的GaN光阴极发射不均匀性由原来的28％改善为小于10％.研究成果为真空系统内部加热器的优化改进提供技术支撑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴玲玲		31	103	6.0	9.0
3	陈靖		20	45	5.0	6.0
5	石峰		26	122	6.0	10.0
6	程宏昌		18	42	4.0	6.0
7	苗壮		12	34	3.0	5.0
8	冯刘		8	11	2.0	3.0
13	牛森		2	0	0.0	0.0