基于LTCC技术的微型FAIMS生化气体传感器制备

• 作者: 刘雨涛 张瑞 梁庭 熊继军 王心心 王涛龙
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 低温共烧陶瓷 厚膜工艺 高场不对称波形离子迁移谱 气体传感器 离子迁移管
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 7-9,37
• 页数: 4页
• 分类号: TN23
• 字数: 1853字
• 语种: 中文

摘要

陶瓷具有稳定的电特性、机械鲁棒性、化学惰性和超强的可塑性，因而得到广泛的应用。采用低温共烧陶瓷（ LTCC）工艺技术和新型屏蔽电极的设计实现生化气体传感器的制备。气体传感器采用高场非对称波形离子迁移谱（ FAIMS）原理，通过丝网印刷技术来实现迁移电极、屏蔽电极、测试电极等功能器件的安置，并且在气流通路中填入碳膜（印刷碳浆料）有效地防止了层压中气流通路的坍塌，保证了气流通路上下极板的平整，使得所制传感器的功能精度得到了有效的保证，避免了器件间的封装、引线外连，为生化气体传感器的稳定工作奠定基础。