猫眼回波图像随CMOS器件激光损伤变化的实验研究

• 作者: 孙可 孙晓泉 李化 聂劲松 雷鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射 猫眼回波 探测器表面 二维光栅 激光损伤
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 激光物理
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0601001

摘要

成像系统中的CMOS探测器被激光损伤后,其猫眼回波会发生变化.对猫眼回波图像的变化进行了实验研究,发现随着用于损伤的激光功率增加,CMOS器件的微透镜发生分解,直至最终消失,并使器件表面形成由遮光铝膜和光敏区构成的二维光栅,猫眼回波图像内的阵列光斑也经历了逐步消失又恢复的过程.以高斯随机表面模拟微透镜表面形貌,建模计算了猫眼回波图像随微透镜损伤程度的变化,计算结果与实验现象相符.