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基于边缘剪切转移技术制备硅基柔性光波导
基于边缘剪切转移技术制备硅基柔性光波导
作者:
张苗
梅永丰
狄增峰
郭庆磊
黄高山
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
边缘剪切转移
纳米薄膜
硅波导
柔性光电子技术
摘要:
无机柔性光电子技术由于具有柔性、便携、大面积等优点而受到科研人员的广泛关注,并取得了长足的进展.制备无机柔性光电子器件的技术关键是将传统刚性衬底上的纳米“构筑单元”(Building Blocks)以一种可控的、精确的、具有超高对准度的方式集成在柔性基底上.本文针对“转印”(Transfer Printing)技术中纳米“构筑单元”向柔性衬底集成时的可控转移及确定性组装(Deterministic Assembly)等难题,提出了边缘剪切转移技术,实现了柔性硅纳米带阵列在柔性基底上的制备及确定性组装.结合悬臂梁模型及有限元模拟,得出悬空硅纳米带内部在边缘剪切转移过程中所产生的应力与其厚度、宽度之间的函数关系.此外,本文还研究了不同方向硅条带在边缘剪切转移的过程中所制备硅纳米带的边缘形貌,并优化初始硅条带的方向,得到边缘平整的硅纳米带.最终,利用该技术制备出柔性衬底上的硅基光波导.
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文献信息
篇名
基于边缘剪切转移技术制备硅基柔性光波导
来源期刊
中国科学(物理学 力学 天文学)
学科
关键词
边缘剪切转移
纳米薄膜
硅波导
柔性光电子技术
年,卷(期)
2016,(4)
所属期刊栏目
论文
研究方向
页码范围
92-98
页数
7页
分类号
字数
语种
中文
DOI
10.1360/SSPMA2015-00429
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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纳米薄膜
硅波导
柔性光电子技术
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研究去脉
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期刊影响力
中国科学(物理学 力学 天文学)
主办单位:
中国科学院
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-7275
CN:
11-5848/N
开本:
出版地:
北京东黄城根北街16号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
2745
总下载数(次)
4
总被引数(次)
14752
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
高等学校博士学科点专项科研基金
英文译名:
官方网址:
http://std.nankai.edu.cn/kyjh-bsd/1.htm
项目类型:
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