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极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工微坑技术
极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工微坑技术
作者:
周红梅
周维海
张新民
明平美
秦歌
赵晨昊
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
掩膜电解加工
微坑
柔性多孔物
表面织构
活动掩膜
摘要:
针对常规掩膜电解加工极难在非平面工件上高效制取表面织构的难题,在设计开发出进液、排液、导流等功能结构合为一体的特殊工具阴极的基础上,本文提出一种极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工微坑技术,数值仿真并优化设计了极间流场,试验分析了掩膜厚度、极间电压、压紧力、脉冲参数等核心工艺参数对微坑几何特征及其分布特性的影响.基于优选工艺条件,分别在不锈钢平面与圆柱面上加工出几何特征尺寸分布较均匀的微坑阵列,极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工对平面与曲面工件均能展现出较强的表面织构制备能力和适应性.
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文献信息
篇名
极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工微坑技术
来源期刊
中国科学(技术科学)
学科
关键词
掩膜电解加工
微坑
柔性多孔物
表面织构
活动掩膜
年,卷(期)
2016,(10)
所属期刊栏目
论文
研究方向
页码范围
1005-1015
页数
11页
分类号
字数
语种
中文
DOI
10.1360/N092015-00377
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活动掩膜
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中国科学(技术科学)
主办单位:
中国科学院
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-7259
CN:
11-5844/TH
开本:
出版地:
北京东黄城根北街16号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
3361
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英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
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学科类型:
数理科学
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