极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工微坑技术

• 作者: 周红梅 周维海 张新民 明平美 秦歌 赵晨昊
• 来源期刊: 中国科学（技术科学）
• 关键词: 掩膜电解加工 微坑 柔性多孔物 表面织构 活动掩膜
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1005-1015
• 页数: 11页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N092015-00377

摘要

针对常规掩膜电解加工极难在非平面工件上高效制取表面织构的难题,在设计开发出进液、排液、导流等功能结构合为一体的特殊工具阴极的基础上,本文提出一种极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工微坑技术,数值仿真并优化设计了极间流场,试验分析了掩膜厚度、极间电压、压紧力、脉冲参数等核心工艺参数对微坑几何特征及其分布特性的影响.基于优选工艺条件,分别在不锈钢平面与圆柱面上加工出几何特征尺寸分布较均匀的微坑阵列,极间柔性多孔物充填型活动掩膜电解加工对平面与曲面工件均能展现出较强的表面织构制备能力和适应性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	明平美		39	222	9.0	13.0
2	张新民		22	127	8.0	11.0
3	秦歌		11	12	2.0	3.0
4	周维海		1	0	0.0	0.0
5	赵晨昊		1	0	0.0	0.0
6	周红梅		3	1	1.0	1.0