微坑阵列的粒子掩膜电沉积工艺及其均匀性研究

• 作者: 周奎 明平美 李润清 秦歌 赵西梅
• 来源期刊: 河南理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 粒子掩膜 电沉积 微坑陈列 有限元 均匀性
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 机电与计算机工程
• 页码范围: 85-89,97
• 页数: 6页
• 分类号: TG662
• 字数: 2935字
• 语种: 中文

摘要

周期性微纳米结构阵列可以显著改变金属零件的表面性能.提出一种以电泳法制备胶体粒子掩膜、在其间隙中电沉积金属制作微坑阵列的工艺,采用有限元仿真和试验对胶体粒子掩膜电沉积过程进行了研究,并对改善微坑阵列均匀性的工艺进行了探讨.结果表明:电流密度和沉积时间影响微坑形貌和均匀性;电沉积过程中的析氢副反应是影响掩膜粒子能否在基底上保持的主要因素;适当的热处理工艺可改善胶体粒子掩膜电沉积微坑阵列的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	明平美	河南理工大学机械与动力工程学院	39	222	9.0	13.0
2	秦歌	河南理工大学机械与动力工程学院	11	12	2.0	3.0
3	周奎	河南理工大学机械与动力工程学院	2	0	0.0	0.0
4	赵西梅	河南理工大学机械与动力工程学院	4	1	1.0	1.0
5	李润清	河南理工大学机械与动力工程学院	2	0	0.0	0.0