退火对Mn-Co-Ni-O薄膜器件性能的影响

• 作者: 吴敬 周炜 张飞 欧阳程 高艳卿 黄志明
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: Mn1.95Co0.77Ni0.28O4薄膜 器件性能 退火温度 探测率 响应率
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 287-293
• 页数: 7页
• 分类号: TN21
• 字数: 4502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2016.03.007

摘要

采用磁控溅射法制备了厚度为6.5 μm的Mn1.95 Co0.77Ni0.28O4组分的薄膜材料,把材料分别在400℃,500℃,600℃,700℃,800℃下进行后退火处理.结果表明,室温下的负电阻温度系数α295值随退火温度增加先增大后减小, 而电阻率p295则是随退火温度增加逐渐减小的;在相同频率下,500℃退火样品的归一化噪声谱密度(SV·VR/V2)最小,700℃退火样品的归一化噪声谱密度最大.退火温度越高会造成越多的晶体缺陷,从而降低有效导热系数、增大时间常数τ和器件噪声.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄志明	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	43	424	10.0	19.0
2	张飞	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	49	550	11.0	23.0
3	周炜	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	18	115	6.0	10.0
4	欧阳程	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	5	7	1.0	2.0
5	吴敬	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	5	7	1.0	2.0
6	高艳卿	中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室	6	11	2.0	3.0