基于双频激光干涉仪的投影光刻机工作台定位原理与故障分析

• 作者: 宋健 张文雅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 投影光刻机 双频激光干涉仪 多普勒效应
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2680字
• 语种: 中文

摘要

介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法,并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工作台精确定位系统中的应用与工作原理,结合多年的投影光刻机维修经验分析了两例双频激光干涉仪及工作台系统的故障和解决步骤.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋健	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	16	2.0	3.0
2	张文雅	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	14	2.0	3.0