纳米台阶高度标准样块的研制与评价

• 作者: 冯亚南 李锁印 许晓青 赵琳 韩志国
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 台阶高度标准样块 平行度 粗糙度 均匀性 稳定性
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 63-66,88
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 2315字
• 语种: 中文

摘要

介绍了纳米台阶高度标准样块的用途及国内研制样块的情况,设计了纳米台阶高度样块的结构和制作工艺流程,制作了高度20hm～100nm的样块.以20hm、50nm、100nm为例对样块的台阶高度、台阶上下表面平行度、台阶测量区域的粗糙度、均匀性、稳定性进行了考核.结果表明,研制的样块台阶高度与设计值基本一致,稳定性好,与美国VLSI公司的相同高度的台阶高度标准样块相比,本文制作样块的平行度、粗糙度、均匀性与VLSI样块评价测量结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锁印	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	40	3.0	5.0
2	韩志国	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	26	3.0	4.0
3	赵琳	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	27	3.0	3.0
4	冯亚南	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	18	2.0	3.0
5	许晓青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	15	2.0	3.0