基体偏压对电弧离子镀AlCrSiON涂层结构和热稳定性的影响

• 作者: 代伟 吴正涛 张小波 王启民 耿东森 聂志伟 黎海旭
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 基体偏压 AlCrSiON 真空退火 组织结构 热稳定性
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 60-66
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.06.009

摘要

为研究基体偏压对AlCrSiON纳米复合涂层结构、力学性能和热稳定性的影响规律及机制,采用电弧离子镀技术在硬质合金基体上沉积AlCrSiON涂层.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、纳米压痕仪(划痕仪)研究涂层组织结构和力学性能;通过真空退火试验研究涂层的高温稳定性.结果表明:AlCrSiON涂层为致密柱状晶结构,并主要由c-(Al,Cr)N和c-(Al,Cr)(O,N)两相组成,呈现出纳米复合结构.随着偏压的升高,涂层表面的颗粒数目和尺寸减少,组织结构更加致密;硬度和弹性模量均呈现出先增加后减小的趋势,当偏压为-80 V时分别达到最大值30.1 GPa和367.9 GPa.涂层具有良好的高温稳定性,不同偏压下沉积的AlCrSiON涂层经800-950℃热处理后均能够保持良好的结构稳定性及力学性能,但经1 100℃热处理后涂层发生相分解并引发组织结构变化,导致涂层硬度减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张小波	广东工业大学机电工程学院	15	83	5.0	8.0
2	代伟	广东工业大学机电工程学院	9	21	3.0	4.0
3	王启民	广东工业大学机电工程学院	25	153	6.0	11.0
4	吴正涛	广东工业大学机电工程学院	7	17	3.0	3.0
5	黎海旭	广东工业大学机电工程学院	4	11	2.0	3.0
6	聂志伟	广东工业大学机电工程学院	3	8	2.0	2.0
7	耿东森	广东工业大学机电工程学院	4	16	3.0	4.0