可刚性固定MEMS矢量水听器的设计

• 作者: 张国军 张文栋 王续博 郭楠 郭静
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 矢量水听器 差分结构 刚性固定型 加速度灵敏度
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 310-315
• 分类号: TP212.3|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.05.006

摘要

针对传统矢量水听器在实际应用中需要辅助弹性悬挂,不便于工程应用的问题,设计并制造了一种具有低加速度灵敏度可刚性固定的差分型MEMS矢量水听器.介绍了该水听器的工作原理,制作了试验样机.搭建实验平台对样机进行测试,结果表明:500 Hz时声压灵敏度为-185 dB(0 dB参考值1 V/μPa),频带内指向性凹点深度大于30 dB,加速度灵敏度相对于普通型矢量水听器下降20 dB (0 dB参考值1 V/g).理论与实验证明该差分型MEMS矢量水听器可以实现刚性固定的目的,具有广泛的工程应用前景.