磷化铟晶体缺陷的检测

• 作者: 佟丽英 刘伟伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 磷化铟 腐蚀液 位错
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 1605字
• 语种: 中文

摘要

通过采用不同的腐蚀液对磷化铟晶片进行腐蚀，使磷化铟晶片的各种缺陷能够清晰的显示并加以区别。在位错密度的测试过程中，综合了位错密度的计数方法，较真实地反映了磷化铟单晶片的位错状况。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	佟丽英	中国电子科技集团公司第四十六研究所	19	22	3.0	3.0
2	刘伟伟	中国电子科技集团公司第四十六研究所	3	3	1.0	1.0