剪切压电陶瓷块微位移测量及非线性修正

• 作者: 徐胜 李琪 石书丽 陈本永 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微位移测量 剪切压电陶瓷块 最小二乘拟合 样条插值拟合 非线性修正
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 页码范围: 553-558
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 2242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2016.06.01

摘要

通过搭建的剪切压电陶瓷块微位移测量系统,进行了5个不同目标电压的剪切压电陶瓷微位移测量实验,对实验数据分别进行二阶、三阶、四阶最小二乘拟合后进行非线性修正实验,其中采用三阶最小二乘拟合进行修正时效果最好,其位移1050 nm行程时最大非线性误差为3nm.对所得三阶最小二乘拟合多项式的系数进行样条插值拟合,从而实现对不同目标位移的非线性修正,其中位移900 nm行程时最大非线性误差为4nm,仅为原始非线性误差的11％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈本永	浙江理工大学机械与自动控制学院	63	361	11.0	17.0
2	高思田		93	567	11.0	19.0
3	李琪		21	48	4.0	5.0
4	徐胜	浙江理工大学机械与自动控制学院	1	2	1.0	1.0
5	石书丽	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院	1	2	1.0	1.0