基于PMAC的微V槽阵列精密机床研发及其误差补偿

• 作者: 刘建群 卿孟桥 高伟强
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微V槽阵列元件 精密机床 定位精度 误差补偿
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: TG66
• 字数: 3755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2016.09.017

摘要

针对微V槽阵列元件V槽间距高精度等加工要求，开展了一种微V槽阵列元件磨削加工机床的研究与开发。介绍了机床的机械结构整体布局和主要零部件选型，并详细介绍了机床控制及驱动系统的结构系统。在机床软硬件平台支持下，基于工控机+PMAC运动控制器完成了系统控制软件的开发。针对微V槽间距较高的精度要求，开展了利用激光干涉仪进行测量和误差补偿的研究，并利用所研发的机床进行了加工实验的加工样件检测。实验和检测结果表明，所研发的微V槽阵列机床加工定位精度可控制在±0.5μm内，满足对微V槽阵列元件的高精度要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建群	广东工业大学机电工程学院	75	586	12.0	21.0
2	高伟强	广东工业大学机电工程学院	59	415	11.0	17.0
3	卿孟桥	广东工业大学机电工程学院	1	3	1.0	1.0