流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析

• 作者: 寇文兵 张岩 李玉玲 王晓光 齐虹
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 流量传感器 敏感薄膜电阻 温度系数
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2018字
• 语种: 中文

摘要

通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例.分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求.使流量传感器重复性可达±1％,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐虹	中国电子科技集团公司第四十九研究所	9	25	3.0	4.0
2	王晓光	中国电子科技集团公司第四十九研究所	11	31	2.0	5.0
3	李玉玲	中国电子科技集团公司第四十九研究所	9	13	2.0	2.0
4	张岩	中国电子科技集团公司第四十九研究所	9	10	2.0	2.0
5	寇文兵	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	16	2.0	4.0