半导体真空腔体静态密封和检漏的研究

• 作者: 陈妙娟
• 来源期刊: 机械工程与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 真空腔体 静态密封 检漏
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: ?实用技术?
• 页码范围: 155-157
• 页数: 3页
• 分类号: TB774
• 字数: 2160字
• 语种: 中文

摘要

针对半导体真空腔体静态密封中存在的泄漏及高温时密封圈受损等密封性问题，重新对密封圈的选择和密封槽的设计计算进行了完善，并对完善后的真空腔体的密封性进行了一系列的检漏测试及探讨，从而证明了改善方案的可行性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈妙娟		2	0	0.0	0.0