测量MEMS中几何量的方法的探讨

• 作者: 徐晓峰
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 测量特点 测量方法
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 分类号: TB92
• 字数: 2359字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15988/j.cnki.1004-6941.2016.05.009

摘要

中国正处于快速发展阶段.MEMS也顺应时代的潮流迅速兴起.由于其制作过程要求及其精密.所以,对其几何量的测试方法要求也十分严格.在此过程中,涉及到MEMS几何量测量中的特殊测量方法.目前MEMS几何量测量的方法一般有光切、干涉、光栅投影、扫描探针等.在探索MEMS几何量测量的方法之前,应对其工作的原理及检测方法进行初步的探索和分析.这样才能更深层次地挖掘其几何量测量,法的合理性以及发展趋势.接下来便是本文,对MEMS几何量测量方法的一些探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晓峰		3	4	1.0	2.0