溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究

• 作者: 章恺 蒋传生
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射薄膜 压力传感器 敏感元件 制作工艺 电阻层 光刻
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 机械制造/Machine Manufacture
• 页码范围: 37-39,68
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1820字
• 语种: 中文

摘要

磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点，成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层，发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端，引入了先溅射后光刻的制作工艺，实验结果表明，该方法能成功制作出所需的电阻图形。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章恺	南京航空航天大学机电学院	4	16	2.0	4.0
2	蒋传生	南京航空航天大学机电学院	1	3	1.0	1.0