点衍射波前无镜头干涉测量中横向偏移误差校正方法

• 作者: 刘维 孔明 徐杨波 朱保华 王志超 王道档 赵军
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 点衍射波前 结构误差 无镜头成像
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 158-165
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201636.0812007

摘要

为了最大程度减少误差环节,点衍射球面波前精度的干涉测量中通常采用无镜头测量方式.点衍射干涉波前在大数值孔径与大横向偏移量情况下存在的结构误差将严重影响测量精度,且无法利用传统方法加以校正.针对该问题,提出了一种基于三坐标重构以及对称偏移补偿的点衍射干涉波前测量中结构误差的高精度校正方法,以实现对大数值孔径及大横向偏移点衍射球面波前无镜头成像测量中的结构误差校正.该方法首先采用三坐标重构方法对系统误差进行预校正,再针对干涉中点源横向偏移引入误差存在的对称性,采用对称横向偏移补偿对由三坐标重构误差而引入的残余结构误差进一步校正.分别进行了数值仿真和测量实验对所提出方法的可行性进行了验证.结果表明,该方法达到了λ/10000的校正精度,对于点衍射球面波前高精度测量标定以及非镜头成像干涉检测中结构误差的高精度校正具有重要的应用意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔明		94	214	7.0	10.0
2	赵军		87	315	10.0	14.0
3	王道档		33	38	4.0	5.0
4	刘维		17	51	4.0	6.0
5	徐杨波		4	0	0.0	0.0
6	王志超		2	4	1.0	2.0
7	朱保华		3	0	0.0	0.0