NiCr高温薄膜电阻应变计制备及耐高温性能研究

• 作者: 丁万昱 崔云先 张启翔 张子超 胡晓勇
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: NiCr高温薄膜电阻应变计 耐高温性能 光刻工艺 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1548-1555
• 页数: 8页
• 分类号: TH82
• 字数: 4349字
• 语种: 中文

摘要

针对高温环境下应力应变测试的技术难题,提出了一种以NiCr薄膜为敏感材料的高温薄膜应变计的制备方法,并对薄膜应变计敏感层的耐高温性能进行研究.研究发现,NiCr薄膜在高温下微观结构、成分发生明显转变,电学性能急剧下降.对添加SiNxOy和ITO薄膜后的NiCr薄膜分别进行高温测试发现,NiCr薄膜结构、性能没有明显改变,表明SiNxOy和ITO薄膜保护下的NiCr薄膜高温下性能稳定.所制的高温薄膜应变计在50～ 350℃内电阻温度系数为(80～787)×10-6/K,常温下应变灵敏系数为1.19,机械滞后为5.02,高温下的应变测试性能有待进一步研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁万昱	大连交通大学材料科学与工程学院	17	58	5.0	6.0
2	崔云先	大连交通大学机械工程学院	19	83	6.0	8.0
3	张子超	大连交通大学机械工程学院	1	5	1.0	1.0
4	胡晓勇	大连交通大学机械工程学院	2	7	2.0	2.0
5	张启翔	大连交通大学机械工程学院	1	5	1.0	1.0