热退火条件下球状纳米硅晶粒成核势垒阈值研究

• 作者: 丁学成 付念 傅广生 王英龙 褚立志 邓泽超
• 来源期刊: 河北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光烧蚀 热退火 纳米晶粒 成核势垒
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 物理科学
• 页码范围: 471-475
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2017.05.005

摘要

利用纳秒脉冲激光烧蚀(PLA)技术,在室温、真空环境中沉积制备了非晶Si薄膜,并通过热退火实现了薄膜样品的晶化,利用扫描电子显微镜(SEM)、X线衍射(XRD)仪和Raman散射(Raman)仪等技术对退火后的样品进行形貌表征和晶态成分分析,确定了非晶Si薄膜晶化的热退火阈值温度以及在该条件下所形成球状纳米Si晶粒的平均直径,结果分别为850℃和15 nm.假定纳米Si晶粒为理想球体,结合固相晶化过程中的能量变化,计算得到了晶化形成直径15 nm球状晶粒所需要的能量,即成核势垒阈值,量级约为10-11 mJ.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	184	817	13.0	17.0
2	邓泽超	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	48	123	6.0	8.0
3	褚立志	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	47	155	7.0	10.0
4	丁学成	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	44	89	5.0	7.0
5	付念	河北大学物理科学与技术学院河北省光电信息材料重点实验室	6	1	1.0	1.0