基于数字波面干涉的平面度测试方法

• 作者: 朱绯红 杨慧敏 钱征宇
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 波面干涉 三维面型 斐索干涉仪 zernike函数 平晶平面度
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 7-9
• 页数: 3页
• 字数: 1933字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2017.07.02

摘要

本文介绍了一种基于数字波面干涉的平面度测试方法,该方法基于菲索干涉仪结构,通过数字CCD采集单帧干涉图像,运用zernike函数基于单帧图像拟合被测平面三维面型,以PV值综合评价整体平面度,区别于传统的等厚干涉仪与移相干涉测试方法.经验证此方法正确可行,测试数据准确可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱绯红		14	6	2.0	2.0
2	杨慧敏		11	4	1.0	1.0
3	钱征宇		7	24	2.0	4.0