TSV阵列耦合参数求解算法研究与实现

• 作者: 缪旻 赵景龙
• 来源期刊: 北京信息科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: TSV阵列 耦合参数 求解器
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 39-44
• 页数: 6页
• 分类号: TP391
• 字数: 3793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16508/j.cnki.11-5866/n.2017.04.008

摘要

针对大规模TSV(Through Silicon Via)阵列无法直接得出耦合参数的封闭表达式的情况,提出了一种TSV阵列耦合参数的求解算法.利用有限个正交基函数的组合逼近源(电荷)分布函数,确定了邻近效应下TSV表面的电荷分布;利用匹配电荷层法对TSV氧化层进行等效替换,建立了TSV导体表面自由电荷与匹配电荷的对应关系,从而确定了电场和电势的分布;建立源与电势(电场)的求解方程组,通过求解方程组得到TSV阵列的耦合参数.根据该算法设计了一款TSV阵列耦合参数求解器,求解器可以求解任意数量、任意排布方式的TSV阵列耦合参数.最后对求解器得到的解的可靠性进行了验证.计算结果表明,该算法得到的解是可靠的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	缪旻	北京信息科技大学信息与通信工程学院	31	28	3.0	4.0
2	赵景龙	北京信息科技大学信息与通信工程学院	3	1	1.0	1.0