线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响

• 作者: 明兆坤 李宏达 秦军存 邢旭
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线锯 多线切割 硅片 线速度
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 41-44,49
• 页数: 5页
• 分类号: TG58
• 字数: 2883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2017.5.0007

摘要

为了考察线速度对金刚石线锯切割过程的影响,研究了不同线速度条件下金刚石线锯的磨损情况以及硅片表面质量情况,通过SEM及粗糙度仪对切后线材、硅片等进行微观及量化分析.结果表明:线速度由1 300 m/min提高至1 800 m/min,金刚石线锯磨损量由3.5 μm逐渐降低到2.5 μm,降幅为28.6％;金刚石线锯切割硅材料为塑性及脆性模式混合去除,硅片表面的形貌呈现沟槽状、连续划痕并伴随大量凹坑;随着线速度的增加,硅片表面粗糙度逐渐减小,算数平均粗糙度Ra、最大高度Rz以及最大表面粗糙度Rt数值分别下降了33.7％、37.8％、45.6％,表面凹坑数量随着线速度的增大也逐渐减少.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宏达		1	5	1.0	1.0
2	秦军存		1	5	1.0	1.0
3	邢旭		1	5	1.0	1.0
4	明兆坤		1	5	1.0	1.0