高斯表面在互连线参数提取中的应用

• 作者: 陈宝君 鞠艳杰
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 高斯函数 互连线 参数提取
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 页码范围: 344-350
• 页数: 7页
• 分类号: TP39

摘要

随着集成电路特征尺寸的进一步缩小,互连线RC延迟引起的可靠性问题正成为影响芯片性能的主要因素。受制作工艺影响,互连线截面并非规则矩形,而RC延迟问题会因此加剧,采用数值方法分析、计算这种互连线的寄生参数必须首先描述粗糙表面。集成电路中互连线的表面高度并不容易测量,为此,本文提出了使用高斯函数来描述粗糙表面,实验数据表明将该表面应用于互连线参数计算结果较为准确。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鞠艳杰		14	10	2.0	2.0
2	陈宝君		10	13	1.0	3.0