微焦点X射线数字成像系统的最佳分辨率

• 作者: 刘军 刘骏 杨龙
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 微焦点X射线 最佳分辨率 放大倍数
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 1-3,54
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 1586字
• 语种: 中文

摘要

根据微焦点X射线数字成像检测系统在半导体行业中实际应用的要求,通过推导得出微焦点X射线数字成像检测系统的分辨率与放大倍数的数据关系式,并带入到实际的检测系统中,绘制出了系统分辨率与放大倍数关系曲线;通过曲线说明了应用在半导体行业的微焦点X射线数字成像检测系统,在一定放大倍数范围内,系统具有最佳分辨率,并通过实验的数据与理论值对比,验证了结论的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘骏		4	8	2.0	2.0
2	杨龙		3	0	0.0	0.0
3	刘军		2	0	0.0	0.0