高效硅片切割液TF-033的研究

• 作者: 牛树怀 赵琦琦 陈同军
• 来源期刊: 浙江化工
• 关键词: 硅片切割液 结构钢线 金刚线 低泡嵌段聚醚 梳型结构分散剂
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 精细化工
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 字数: 2763字
• 语种: 中文

摘要

通过分子构效关系的研究及合理的配方设计,以低泡嵌段聚醚和梳型结构分散剂为主要原料,添加润湿剂、抗氧化剂、防腐剂、消泡剂等表面活性剂,研制了一种硅片切割液TF-033.它具有低粘度、高分散性、高润滑性等特点.一方面能有效解决因砂浆沉积引起的脏污片问题,提高切片稳定性和成品率,另一方面大幅降低了设备能耗,进而达到降本增效的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛树怀		3	8	2.0	2.0
2	陈同军		1	0	0.0	0.0
3	赵琦琦		1	0	0.0	0.0