基于钽酸锂晶体材料镍铬薄膜在14～16μm波段红外增强吸收特性

• 作者: 何璇 刘子骥 梁志清 苟军 蒋亚东 马振东
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: NiCr 热释电探测器 纳米金属薄膜 化学腐蚀 红外吸收
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 页码范围: 389-392
• 页数: 4页
• 分类号: O551|O782
• 字数: 944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2017.04.002

摘要

纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14 ～ 16 μm波段范围内有效应用已经得到证明.通过调节沉积在LT(钽酸锂)晶体材料上的纳米级镍铬(NiCr)薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性,通过调节晶体材料的厚度,改变抗反射腔的深度,从而调节吸收波长.为进一步加强红外吸收,应用化学腐蚀,生成粗糙的纳米级薄膜表面结构,从而极大程度上增加吸收表面积.通过将这两种方法结合,可以明显增强指定波段的红外吸收,且其制造过程完全兼容,易于实现,可控的吸收性能的实验结果与仿真和设计情况相符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	刘子骥	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	14	98	7.0	9.0
3	梁志清	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	5	1.0	2.0
4	何璇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
5	马振东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
6	苟军	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	10	1.0	2.0