移动脉冲激光刻蚀金属/聚酰亚胺数值模拟

• 作者: 任妮 刘孝丽 张宏伟 杨建平 汤富领 薛红涛 闫晓东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 脉冲激光 移动速度 铝薄膜 聚酰亚胺 温度场 刻蚀深度
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 29-35
• 页数: 7页
• 分类号: TN249|O430
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0402001

摘要

为了研究移动脉冲激光刻蚀单/双层金属/聚酰亚胺基复合材料的规律,利用有限元方法建立了移动纳秒脉冲激光刻蚀的通用模型,讨论了移动速度对激光刻蚀深度的影响,分析了金属铝薄膜和双层金属膜在移动脉冲激光作用下的温度变化规律.结果表明,当激光移动速率一定时,刻蚀深度开始时不断增加,但增加幅度逐渐减小,刻蚀深度逐渐趋于一定值,即达到最大刻蚀深度;金属与基底材料界面处的温度变化相较于金属薄膜靠近光源处的在时间上有一定滞后,基底温度在激光关闭后可继续上升;刻蚀双层金属膜时,下层选用较厚且热导率较大的金属薄膜有利于保护聚酰亚胺基底.