一种可吸收垂直入射光的管状量子阱红外探测器

• 作者: 李世龙 李梦瑶 梅永丰 王晗 甄红楼 聂晓飞 陆卫 黄高山
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 卷曲微管 红外探测器 量子阱 光耦合
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 191-195,201
• 页数: 6页
• 分类号: TN362
• 字数: 2366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2017.02.011

摘要

基于传统的光刻和化学湿法腐蚀工艺,通过卷曲技术,提出一种三维管状量子阱红外探测器.该管状器件相比于未卷曲的平面器件,在垂直入射光照下,展现了优良的暗电流、黑体响应和光电流响应率特性曲线.当工作温度60 K、偏置电压0.45 V时,管状器件峰值响应率为20.6 mA/W,峰值波长3.62 μm,最大量子效率2.3％.从几何光学的角度分析了管状器件的垂直光吸收原理,进而揭示了一种特殊的光耦合方式.测试了不同角度入射光照射下的光电流响应率谱.由于微管的近似圆形对称性,器件具有很宽的视角,有助于红外探测系统的设计.