面向100GHz+数模混合电路的0.5μm InP DHBT工艺

• 作者: 常龙 张有涛 牛斌 王元 程伟 谢俊领 陆海燕
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磷化铟 异质结双极型晶体管 分频器
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 页码范围: 167-172
• 页数: 6页
• 分类号: TN322+.8
• 字数: 935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2017.02.008

摘要

报道了一种高性能的3英寸磷化铟双异质结双极型晶体管工艺.发射极尺寸为0.5 μm×5μm的磷化铟双异质结双极型晶体管,电流增益截止频率以及最高振荡频率分别达到350 GHz以及532 GHz,击穿电压4.8V.基于该工艺研制了114 GHz静态分频器以及170 GHz动态分频器两款工艺验证电路,这两款电路的工作频率均处于国内领先水平.