紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究

• 作者: 周飞 李圆圆 段国韬 苏星松 许宗珂
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 气敏性能 微纳有序多孔薄膜 灵敏度 紫外光 ZnO
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 625-629
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.04.024

摘要

采用基于有机模板的溶液浸渍-无损转移法制备ZnO微纳多孔有序薄膜,研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的ZnO微纳多孔有序薄膜对NO2气敏性能的影响.结果表明,以500 nm聚苯乙烯(PS)球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器,在0.35 mW/cm3紫外光照射下具有较高的灵敏度、较快的响应和恢复时间.随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大,ZnO微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低;且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇、甲醛、H2S、SO2和CH4等气体具有很好的选择性.