通过热应力分析改善AOTF键合层附着力

• 作者: 刘伟 刘善群 张永川 张银中 杨华 陆川 陈华志 鲜晓军
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声光可调滤光器 声光晶体 真空键合 热应力 声阻抗匹配
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 页码范围: 365-369
• 页数: 5页
• 分类号: TN65
• 字数: 2773字
• 语种: 中文

摘要

针对声光可调滤光器(AOTF)压电换能器和声光晶体键合后出现附着力差的问题开展分析,根据热应力理论计算AOTF键合层各层的热应力分布情况,提出通过增加过渡层改善键合层应力特性.当过渡层Au膜厚为200 nm时,理论上键合层和声光晶体间的热应力减小到-0.613MPa,能够保证膜层的附着强度.测试结果显示,添加过渡层后频率响应的3 dB带宽增加,衍射效率提高了2％～4％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	中国电子科技集团公司第二十六研究所	45	99	7.0	8.0
2	杨华	中国电子科技集团公司第二十六研究所	8	26	1.0	5.0
3	张永川	中国电子科技集团公司第二十六研究所	9	15	3.0	3.0
4	陆川	中国电子科技集团公司第二十六研究所	5	4	1.0	2.0
5	鲜晓军	中国电子科技集团公司第二十六研究所	14	41	4.0	5.0
6	陈华志	中国电子科技集团公司第二十六研究所	8	6	1.0	2.0
7	张银中	中国电子科技集团公司第二十六研究所	1	0	0.0	0.0