基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计

• 作者: 匡尚奇 张杰瑞 张超 王一名 谢耀
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 多层膜设计 量子进化算法 宽角度极紫外多层膜
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 339-347
• 页数: 9页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201737.0631001

摘要

提出了一种基于实数编码量子进化算法(RQEA)的宽角度极紫外(EUV)多层膜理论膜系的设计方法.采用基于实数编码的遗传算法(RGA)和RQEA对宽角度Mo/Si多层膜进行了理论设计和分析,发现RQEA具有种群规模小、搜索效率高和求解精度高的明显优势,体现出RQEA在光学薄膜设计领域的潜在应用价值.同时,设计出入射光波长为13.5 nm、在入射角0°～l8°范围内反射率可达50％的宽反射带Mo/Si多层膜.