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改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
作者:
匡尚奇
周祥燕
张超
王一名
谢耀
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
摘要:
为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA).对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化.基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15 nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计.基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法.
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文献信息
篇名
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用
来源期刊
光学精密工程
学科
物理学
关键词
薄膜光学
多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
年,卷(期)
2017,(8)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
2046-2056
页数
11页
分类号
O436
字数
5716字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20172508.2046
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
张超
长春理工大学理学院
20
87
5.0
8.0
2
谢耀
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
8
14
3.0
3.0
3
匡尚奇
长春理工大学理学院
11
11
2.0
3.0
4
王一名
长春理工大学理学院
2
5
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周祥燕
长春理工大学理学院
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多层膜设计
改进型量子进化算法
宽带极紫外多层膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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