改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用

• 作者: 匡尚奇 周祥燕 张超 王一名 谢耀
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2046-2056
• 页数: 11页
• 分类号: O436
• 字数: 5716字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172508.2046

摘要

为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA).对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化.基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15 nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计.基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张超	长春理工大学理学院	20	87	5.0	8.0
2	谢耀	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	14	3.0	3.0
3	匡尚奇	长春理工大学理学院	11	11	2.0	3.0
4	王一名	长春理工大学理学院	2	5	1.0	2.0
5	周祥燕	长春理工大学理学院	1	4	1.0	1.0