烧结温度对Nb2O5掺杂TiO2靶材性能的影响

• 作者: 尚福亮 彭伟 朱佐祥 杨海涛 高玲
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 靶材 掺杂 烧结温度 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 223-226,231
• 页数: 5页
• 分类号: TF125|TM283
• 字数: 3855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.03.042

摘要

采用真空烧结方法制备了Nb2O5∶TiO2(NTO)的陶瓷靶材,研究了在7.5%(质量分数)掺杂量下不同烧结温度对NTO陶瓷靶材的微观结构、表面形貌、电学性能、致密度和抗弯强度的影响.通过对NTO靶材的各项性能进行了表征分析表征,实验结果表明,当烧结温度在1 150 ℃,掺杂量在7.5%(质量分数)时,所制备的陶瓷靶材各项性能最优,其各项性能指标均表现良好,其电阻率为3.420 mΩ·cm,抗弯强度为129.24 MPa,其致密度为94.30%.表明此时所制备的NTO陶瓷靶材更加适合于实际工业应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨海涛		18	56	5.0	6.0
2	朱佐祥		1	0	0.0	0.0
3	彭伟		1	0	0.0	0.0
4	尚福亮		1	0	0.0	0.0
5	高玲		1	0	0.0	0.0