MEMS加速度计重力法校准的实验研究

• 作者: 刘志华 周晟阳 王颖 蔡晨光
• 来源期刊: 计量技术
• 关键词: 低频校准 MEMS加速度计 地球重力法 激光干涉法
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 检定与校准
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 字数: 1824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2017.12.16

摘要

在低频范围内,受到振动位移的限制,标准振动台输出的加速度很小,致使被校加速度计的信噪比较低,产生较大的校准误差.地球重力法通过改变被校加速度计的灵敏轴与重力场的夹角,可以在低频范围内生成高达1g的加速度.本文根据这一特性设计了地球重力法校准系统,通过信号采集仪实时采集转动过程中MEMS加速度计的输出电压,并计算出在该转动频率下MEMS加速度计的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王颖		39	367	11.0	18.0
2	刘志华		11	12	2.0	3.0
3	蔡晨光		17	20	2.0	3.0
4	周晟阳		1	0	0.0	0.0