三维混合集成M-Z光波导传感器的设计

• 作者: 刘豫 孙月 张大明 曹悦 衣云骥 郑尧
• 来源期刊: 中国科技论文
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子学与固体电子学 传感器 光波导 有效折射率法 混合集成
• 年，卷（期）: 2017,（14）
• 页码范围: 1617-1620
• 页数: 4页
• 分类号: TM0439
• 字数: 2833字
• 语种: 中文

摘要

设计了基于聚合物材料与无机材料三维混合集成的马赫增德尔(M-Z)光波导传感器,从结构和材料方面提升器件性能.分析器件结构两臂的光波导模式特性,采用有效折射率法得出传感精度曲线,优化波导尺寸为2 μm×2μm(长×宽),使其传感精度相比平面结构提升2～3倍,光束传播法模拟光场分布,模拟传感长度差为100～3 000 μm时的器件输出曲线.利用多材料混合集成,通过温度控制器件的传感区间,可解决精度退化问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大明	吉林大学电子科学与工程学院	44	113	6.0	9.0
2	孙月	吉林大学电子科学与工程学院	8	1	1.0	1.0
3	曹悦	吉林大学电子科学与工程学院	6	3	1.0	1.0
4	郑尧	吉林大学电子科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
5	刘豫	吉林大学电子科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
6	衣云骥	吉林大学电子科学与工程学院	3	0	0.0	0.0